2023.05.23

計測・分析技術

【切断サンプリングできない微量な付着物の評価】

共同研究支援部

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製造工程の中で異物が付着すると塗装や接着の不具合、汚染等の問題になりますが、原因となる付着物が極めて少なく、測定対象物を加工によるサンプリングできない場合があります。ここでは、付着物を粘着テープにより転写し、飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）により評価した例を紹介します。
転写した粘着テープから付着物の成分であるFが検出され、マッピング像からも付着物の形状が転写できることから、サンプリングとして有効な手法であることがわかります。